Billets aus klarem Quarzglas

Billets (dickwandige Hohlzylinder) sind das ideale Ausgangsmaterial zur Herstellung von ringförmigen Quarzglaserzeugnissen. Aus Kundensicht ergeben sich wesentliche Einsparungen von Zeit und Material gegenüber der Fertigung aus Block- bzw. Vollmaterial.

Weltweit führende Quarzglas-Fabrikatoren setzen Billets aus ilmasil®-Quarzglas für die Fertigung von Quarzglaskomponenten in der Halbleiterindustrie ein:

• als Ausgangsmaterial für Profil-Ringe für Plasmaätzprozesse
• aufgrund des niedrigen OH-Gehaltes sind Billets aus ilmasil®-Quarzglas ein ideales Halbzeug für die Herstellung von Flanschen für Prozessrohre
• als Basismaterial für die Fertigung von Ringbooten u.a. Ringkomponenten

Billets aus opakem Quarzglas

ilmasil® PO ist ein opakes Quarzglas für alle industriellen Anwendungen, bei denen neben hoher Reinheit und Temperaturbelastbarkeit, eine Abschirmung gegen Wärmestrahlung erwünscht ist. Die opake Erscheinung von ilmasil® PO-Quarzglas wird ausschließlich durch homogen verteilte Mikroblasen erziehlt, d.h. es erfolgt keine Dotierung mit Fremdstoffen. Aufgrund seiner Mikroblasigkeit besitzt ilmasil® PO sehr gute Verarbeitungseigenschaften in Heiß- und Kaltbearbeitung.

Seine geringe Wärmeleitfähigkeit, hohe chemische Reinheit und hervorragenden Bearbeitungseigenschaften machen Billets aus ilmasil® PO zu einem idealen Ausgangsmaterial für die Herstellung von Flanschen für Halbleiter-Prozessrohre und Isolationsringen.