ilmasil®
| for semiconductor application | |||||
| ilmasil PN | ilmasil PI | ilmasil PL | ilmasil PO-1 | ilmasil PO-2 | |
| | | | | | |
| typical trace elements in ppm | |||||
| Al | 15 | 8 | 8 | 15 | 8 |
| Ca | 0,8 | 0,8 | 0,7 | 0,8 | 0,7 |
| Cr | <0,05 | <0,05 | <0,05 | <0,05 | <0,05 |
| Cu | <0,03 | <0,03 | <0,03 | <0,03 | <0,03 |
| Fe | 0,3 | 0,3 | 0,2 | 0,3 | 0,2 |
| K | 0,7 | 0,4 | 0,2 | 0,7 | 0,2 |
| Li | 0,5 | 0,2 | 0,2 | 0,5 | 0,2 |
| Mn | 0,05 | 0,01 | <0,01 | 0,05 | <0,01 |
| Na | 1,0 | 1,0 | 0,2 | 1,0 | 0,2 |
| Ni | <0,02 | <0,01 | <0,01 | <0,02 | <0,01 |
| Ti | 1,5 | 1,4 | 1,4 | 1,5 | 1,4 |
| Zr | 1,5 | 1,3 | 1,0 | 1,5 | 1,0 |
| OH-content | 30 ppm | 30 ppm | 30 ppm | <100 ppm | <100 ppm |
| for lamp application | ||||
| ilmasil PN | ilmasil PS | ilmasil PO-0 | ||
| clear fused quartz | clear fused quartz | opaque fused quartz | ||
| typical trace elements in ppm | ||||
| Al | 15 | 5 | 160 | |
| Ca | 0,8 | 0,1 | 10 | |
| Fe | 0,3 | 0,15 | 7 | |
| K | 0,7 | 0,05 | 7 | |
| Li | 0,5 | 0,9 | 20 | |
| Na | 1,0 | 0,08 | 10 | |
| Ti | 1,5 | 0,04 | 9 | |
| OH-content* | 30 ppm | 10 ppm | 30 ppm | |
| Doped Fused Quartz with typical transmission for special lamps | ||||
| ilmasil PN 215 PN 235 PN 240 | ilmasil PN 310 | ilmasil PN 350 | ||
| Dopand | Ti | V | Ce+Ti | |
| OH-content* | 40 ppm | 40 ppm | 40 ppm | |
*values are only valid for non-flameworked material